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全自动控制冷溅射仪

2011-5-9 10:55| 发布者: wangxiaoling| 查看: 2411| 评论: 0

摘要: 详细描述: 简介 K550X 具有旋转样品台,它也可倾斜,非常适合各种样品使用。预选择参数及全自动控制使得精确镀层及重复厚度沉积更为方便。 磁电管靶使用低电压,可提高效率,K550X 能得到非常精细的颗粒,由于是冷 ...

详细描述:

简介

K550X 具有旋转样品台,它也可倾斜,非常适合各种样品使用。预选择参数及全自动控制使得精确镀层及重复厚度沉积更为方便。 磁电管靶使用低电压,可提高效率,K550X 能得到非常精细的颗粒,由于是冷溅射,所以无需冷却靶面或样品台。

腔室直径为 165 mm(6 英寸),非常方便装载及移走样品。 

仪器装有 60mm 直径、0.1mm 厚的金靶(或用户选择),提供最适合的性能价格比。可选靶材包括金/钯,铂/钯和铂。功能集中在仪器面板上及即插即用电子学设计,最大的“up-time”,这些用户友好设计满足了不同学科的用户需求。溅射参数可被预先设置,包括气体放气针阀,此阀为电磁阀,一旦设置,它就不需要再调节。溅射头互锁,系统可容易选配 K250 镀碳附件。本仪器为全自动操作,可控制独立的真空泵。

 

特点

全自动控制  

低电压溅射                                       

高分辨率精细涂层                                     

(金颗粒可达2 nm)                                   

具有倾斜装置的特殊旋转台                                  

均匀厚度沉积                          

(扫描电镜一般厚度为20nm 200 )                  

165 mm(6 英寸)腔室

 

 

技术规格

仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H  

重量:18 公斤 

工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 

安全钟罩:聚碳酸酯 

靶:60 mm 直径 x 0.1mm (金作为标准靶面

样品台直径为 60 mm,靶面距离 40mm,具有倾斜装置的旋转台 

真空范围:ATM-1x10-2 mbar 

溅射电流:0-50mA 

沉积速率:0-25nm/ 

溅射定时: 0-4 分钟 

预设置针阀:控制氩 

电源:230 50Hz 

(10 amp max. including Pump)

鲜花

握手

雷人

路过

鸡蛋

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